Carl Zeiss SMT AG
Entwicklung einer Ansteuerungssoftware für Manipulatoren in
Objektiven zur Waferbelichtung in der Chipproduktion:
Bei der Chipproduktion müssen Strukturelemente im Bereich
von unter 40 nm scharf abgebildet werden, so dass die Präzision der
verwendeten Objektive noch weit besser sein muss. In diesem Bereich führt
die unterschiedliche lokale Erwärmung der Linsen durch das hindurchtretende
Licht bereits zu störenden Veränderungen, die im laufenden Betrieb
korrigiert werden müssen.
Zu diesem Zweck werden sogenannte Manipulatoren in das
Objektiv eingebaut, die im laufenden Betrieb angesteuert werden können und
gezielte Eingriffe in die optischen Eigenschaften des Objektivs erlauben.
Die von mir entwickelte Software dient zur Qualifizierung
solcher Manipulatoren während der Produktion. Die Aufgaben umfassen:
-
Ansteuerung des Manipulators über eine
zwischengeschaltete linux-basierte Steuerung (Corba-Interface)
-
Ermittlung der relevanten Parameter des Manipulators
und Ablage in einer Oracle-Datenbank
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Bereitstellung von Interfaces für externe Testsoftware
-
Entwicklung von Testprogrammen sowohl zum Test der
Interfaces als auch zur Ermittlung speziellerer Kenngrößen des
Manipulators
Die Ansteuerung und Datenbankanbindung wurde in Form von
mehrfach verketteten COM-Servern realisiert, die in die vorhandene
Infrastruktur zur Ansteuerung anderer Manipulatortypen einzubetten war. Die
Testprogramme wurden als .Net-Clients dieser Server realisiert.
Entwicklungsumgebung: MS Windows XP; Visual Studio 6 und
2005, COM, .Net
